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本发明提供了一种多线切割装置、多线切割方法及其用途,涉及多线切割领域,该多线切割装置包括:至少一对平行线轴,以及,缠绕于所述线轴上的多根平行线锯组成的线网;其中,所述线锯与所述平行线轴的垂线倾斜设置。利用该多线切割装置能够缓解现有衬底晶片切...该专利属于福建北电新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过福建北电新材料科技有限公司授权不得商用。
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本发明提供了一种多线切割装置、多线切割方法及其用途,涉及多线切割领域,该多线切割装置包括:至少一对平行线轴,以及,缠绕于所述线轴上的多根平行线锯组成的线网;其中,所述线锯与所述平行线轴的垂线倾斜设置。利用该多线切割装置能够缓解现有衬底晶片切...