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本实用新型涉及研磨装置用承载头及用于该承载头的隔膜，将沿着底板的半径方向配置于第一隔壁外侧的第二隔壁以与第一隔壁不同的厚度形成，借助于此，可以使研磨量偏差实现最小化，并且提高研磨品质。...
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