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一种楔形预紧的二维柔顺振动平台制造技术
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文档序号:20699693
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本发明公开了一种楔形预紧的二维柔顺振动平台,包括驱动源、柔顺振动平台、基座和楔形预紧装置;所述柔顺振动平台包括圆弧型柔性铰链、外侧直梁型柔性铰链、工作台、内侧直梁型柔性铰链和柔顺振动平台外侧架体。当两个方向的驱动源同时运动时,使工作台产生了...
该专利属于河北工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过河北工业大学授权不得商用。
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