下载氧化物薄膜晶体管的制备方法及阵列基板的制备方法的技术资料

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本发明提供一种氧化物薄膜晶体管的制备方法及阵列基板的制备方法,属于显示技术领域。本发明的氧化物薄膜晶体管的制备方法,包括:在基底上,形成包括氧化物半导体有源层的图形的步骤;所述形成包括氧化物半导体有源层的图形的步骤包括:在基底上形成非晶氧化...
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