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本实用新型公开了一种半导体封装清洗设备空气和水加热装置，包括内管，外管，进水管，出水管，进气管和出气管；外管套设在内管外且与内管之间形成密封的水流通道，内管内密封设有加热体，水流通道的进水口与进水管端连通，水流通道的出水口与出水管端连通，内...
该专利属于深圳市凯尔迪光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市凯尔迪光电科技有限公司授权不得商用。

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