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本申请公开一种判断缺陷叠图聚集的方法及其系统，通过自动化的方法筛选出缺陷叠图中的缺陷群，判断缺陷叠图中是否存在缺陷数目大于第一预设值的缺陷群，从而判断缺陷叠图是否存在聚集，相对于人工观察缺陷叠图是否聚集，本申请发现缺陷叠图聚集现象的速度更快...
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