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本发明公开了一种基于棱台分光的超分辨光刻装置，属于超分辨光刻装置的技术领域。该装置包括用于产生i线紫外曝光光束的光源、用于激发照明的棱台分光超分辨光刻镜头和用于承载基片的工作台。该装置通过棱台分光超分辨光刻镜头，方便地实现了四极表面等离子体...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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