下载一种镀膜系统的技术资料

文档序号:20677923

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本申请涉及薄膜太阳能生产技术领域,具体涉及一种镀膜系统。本申请提供的镀膜系统,能够支持对基板镀多个不同种类的膜层,以得到性能更好的具有复合膜层的基板;与现有的镀膜系统相比,本申请提供的镀膜系统在基板上制备多层膜层时基板不用从系统内取出,因此...
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