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本实用新型提供一种成膜用基板以及旋转成膜装置。在所述成膜用基板的成膜面侧的表面与掩模贴合的状态下，使所述成膜用基板与掩模一起绕与所述成膜用基板的所述成膜面侧的表面垂直的旋转轴旋转，从而在所述成膜用基板上形成膜，所述成膜用基板的特征在于，所述...
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