下载一种半导体生产线动态负荷均衡投料控制方法的技术资料

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本发明涉及一种半导体生产线动态负荷均衡投料控制方法,该方法利用基于ELM的负荷均衡投料控制参数模型动态获取半导体生产线总负荷,以该半导体生产线总负荷为指导,采用负荷控制理论实现半导体生产线负荷均衡投料控制,该方法包括以下步骤:1)构建负荷均...
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