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一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器制造技术
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文档序号:20654283
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本发明涉及一种静态工作点温度稳定的共路干涉电场传感器,属于光学电场测量技术领域。所述传感器包括铌酸锂晶体、钛扩散铌酸锂波导、电极和天线,以所述钛扩散铌酸锂波导的传播方向为z轴,将二氧化钛作为磁控溅射靶,在所述钛扩散铌酸锂波导的上表面进行磁控...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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