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一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置及方法制造方法及图纸
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下载一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置及方法的技术资料
文档序号:20653634
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本发明实施例涉及一种基于聚合物薄膜微腔的光声光谱气体传感装置,所述装置包括:沿光束传播方向依次设置的第一半导体激光器(1)、准直聚焦透镜组(2)、玻璃基片(3)、聚合物薄膜微腔(4)、光电探测器(5)、锁相放大器(6)、第二半导体激光器(7...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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