下载驱动电路、用于驱动MEMS陀螺仪的方法和对应的MEMS陀螺仪的技术资料

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本公开涉及驱动电路、用于驱动MEMS陀螺仪的方法和对应的MEMS陀螺仪。提供了一种用于基于科里奥利效应操作的微机电系统(MEMS)陀螺仪的驱动电路。驱动电路向MEMS陀螺仪的移动质量块提供驱动信号,以使移动质量块的驱动运动以振荡频率振荡。驱...
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