温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及微纳加工与制造装置的技术领域，更具体地，涉及一种基于柔顺并联机构的多自由度纳米定位平台，运动支链包括第一运动支链以及第二运动支链；第一运动支链的一端与第一固定基座连接，另一端与末端执行器连接；第二运动支链的一端与第一固定基座连接，...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。