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公开了用于形成三维(3D)存储器设备的阶梯结构的方法的实施例。在一个示例中，基于第一光刻胶掩模形成阶梯结构的第一多个台阶。第一多个台阶中的每一个包括在不同深度处的一定数量的分区。在形成第一多个台阶之后，基于第二光刻胶掩模形成阶梯结构的第二多...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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