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本发明公开一种用于化学气相沉积的高温制程腔室内的滚轮衬套组合件，包括承载体、耐磨衬套、陶瓷固定圈、至少二个滚轮组以及升降销。耐磨衬套具有相对的第一端及第二端，耐磨衬套的第一端位在承载体中，耐磨衬套的第二端位在承载体的下方。陶瓷固定圈用来固定...
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