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检查方法、检查·通知方法、包括该检查方法的制造方法、检查装置及制造装置制造方法及图纸
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文档序号:20595969
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一种对具有图案的板状的被检查物进行检查的检查方法,具有:对所述被检查物的被检查面进行摄影以获得图像的摄影步骤;针对摄影步骤中获得的原图像,通过设定阈值生成将层次数值化为2值或3值后的图像的数值化步骤;及使用所述数值化步骤中生成的图像,对所述...
该专利属于吉野石膏株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过吉野石膏株式会社授权不得商用。
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