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用以处理柔性基板的处理系统和方法技术方案
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文档序号:20595429
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根据本公开的一个方面,提供一种用于处理柔性基板(10)的处理系统(100)。所述处理系统包括:真空腔室(11);传送系统,配置以沿基板传送路径(P)导引柔性基板(10)通过真空腔室(11),其中传送系统包括第一基板支撑件(22)及相隔第一基...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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