下载一种高稳定性单晶硅压差传感器的技术资料

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本实用新型公开了一种高稳定性单晶硅压差传感器,属于传感器领域。一种高稳定性单晶硅压差传感器,单晶硅传感器芯片左右两端分别与传感器正压腔和负压腔固定连接,传感器正压腔上设置有正压腔进油管,传感器负压腔设置有负压腔进油管,单晶硅传感器芯片通过传...
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