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一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法制造方法及图纸
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下载一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法的技术资料
文档序号:20585957
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本发明提供一种遮挡式暗场共焦亚表面无损检测装置和方法,属于光学精密测量技术领域。点光源发出的光依次经过准直镜、遮挡式环形光发生器、分光棱镜和物镜,物镜将激光汇聚至待测样品,载有待测样品信息的反射光和散射光依次经过物镜和分光棱镜,入射至探测互...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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