下载形状测定装置的控制方法的技术资料

文档序号:20584734

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本发明提供一种形状测定装置的控制方法,使速度图案的加减速变更的定时与控制采样周期同步,从而避免产生控制偏差。基于根据预先获得的测定对象物的形状数据设定的移动路径的形状,生成用于沿移动路径移动的速度图案。判定速度图案的速度变更的定时是否与形状...
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