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本发明提供了一种线性蒸镀设备及其蒸镀线源控制方法，包括晶振探测系统及设置于晶振探测系统探测端的线源组件，晶振探测系统包括支架、至少两个晶振探头组件及驱动机构，线源组件包括线源主体及设置于线源主体内的加热组件，线源主体上设置有开设有探测口的挡...
该专利属于苏州方昇光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州方昇光电股份有限公司授权不得商用。

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