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一种基于石墨的隧穿晶体管的反相器及其制备方法技术
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下载一种基于石墨的隧穿晶体管的反相器及其制备方法的技术资料
文档序号:20567971
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本发明公开了一种基于石墨的隧穿晶体管的反相器及其制备方法,石墨烯隧穿晶体管包括源极、栅极、漏极、石墨烯薄膜、半导体或金属衬底、隧穿层、漏极绝缘层、栅极绝缘层、石墨烯钝化层以及直流偏置电压源;源电极和硅衬底相连,漏电极与石墨烯薄膜相连,石墨烯...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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