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半导体存储设备及其制造方法及包括存储设备的电子设备技术
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文档序号:20567937
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公开了一种半导体存储设备及其制造方法及包括该存储设备的电子设备。根据实施例,半导体存储设备可以包括:衬底;设置在衬底上的存储单元阵列,所述存储单元阵列中的存储单元按行和列排列,各存储单元包括竖直延伸的柱状有源区,柱状有源区包括分别位于上下两...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。
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