温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种湿法氧化装置，包括密闭壳体、加热盘、晶圆、恒温水浴、多孔水蒸汽发生器、第一流量控制阀、第二流量控制阀、CCD摄像头和电脑；所述加热盘安装在所述密闭壳体内；所述晶圆设置在所述加热盘上；所述多孔水蒸汽发生器设置在所述恒温水浴内。本...
该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。