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本发明提供一种湿法氧化装置,包括密闭壳体、加热盘、晶圆、恒温水浴、多孔水蒸汽发生器、第一流量控制阀、第二流量控制阀、CCD摄像头和电脑;所述加热盘安装在所述密闭壳体内;所述晶圆设置在所述加热盘上;所述多孔水蒸汽发生器设置在所述恒温水浴内。本...该专利属于宁波润华全芯微电子设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波润华全芯微电子设备有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种湿法氧化装置,包括密闭壳体、加热盘、晶圆、恒温水浴、多孔水蒸汽发生器、第一流量控制阀、第二流量控制阀、CCD摄像头和电脑;所述加热盘安装在所述密闭壳体内;所述晶圆设置在所述加热盘上;所述多孔水蒸汽发生器设置在所述恒温水浴内。本...