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基于超表面FBAR谐振频率温漂特性的偏振红外传感器涉及红外传感技术领域，解决了现有技术中吸收率较低和红外偏振传感器结构和性能均需要提高的问题，包括依次连接的读出集成电路衬底、薄膜体声波谐振器、金属反射层、介质层和金属阵列层，金属阵列层由复数...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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