下载一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法的技术资料

文档序号:20565345

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

一种基于压电谐振器的非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域,解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低的问题,包括制备压电谐振器;压电谐振器上依次制备金属反射层、介质层和金属阵列层;制备读出集成电路衬底;连接读出集成电路衬底和压电谐振器...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。