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基于微机电谐振器的双波段非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域,解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和双波段吸收增加吸收层厚度的问题,包括制备微机电谐振器;其上依次制备介质层和金属阵列层;制备读出集成电路衬底;连接读出集成电路衬底...该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。
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基于微机电谐振器的双波段非制冷红外探测器的制备方法涉及红外探测技术领域,解决了制备方法所得红外探测器吸收率较低和双波段吸收增加吸收层厚度的问题,包括制备微机电谐振器;其上依次制备介质层和金属阵列层;制备读出集成电路衬底;连接读出集成电路衬底...