下载基于等离激元及压电薄膜温度频率特性的红外传感器的技术资料

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基于等离激元及压电薄膜温度频率特性的红外传感器涉及红外传感技术领域,解决了现有技术中吸收率较低的问题,包括从下至上依次连接的读出集成电路衬底、压电薄膜和表面等离激元。本发明非制冷红外传感器通过在压电薄膜表面集成表面等离激元,利用表面等离激元...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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