下载锡掺杂氧化钼薄膜、基于锡掺杂氧化钼薄膜的宽光谱光电探测器阵列及其制备方法的技术资料

文档序号:20548606

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本发明涉及锡掺杂氧化钼薄膜、基于锡掺杂氧化钼薄膜的宽光谱光电探测器阵列及其制备方法,其方法包括以下步骤:步骤a、将氧化钼粉末与氯化亚锡粉末按一定的质量比研磨均匀后置于真空腔的钨舟中,干净的衬底贴于腔体顶部的样品座上;步骤b、将腔体抽真空,直...
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