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基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置制造方法及图纸
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下载基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置的技术资料
文档序号:20543107
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基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术;本发明采用一维平面透射光栅作为敏感器件,实现了敏感器件的滚转角变化量测量;本发明解决了现有方法与装置中的测量精度低、工作距离短等不足,利用双衍射光束进行差动测量,消...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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