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基于光栅的共光路跟随式高精度三维角度测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术领域；本发明采用一维平面反射光栅作为敏感器件，实现了敏感器件的三维角度变化量测量，利用一维平面透射光栅以及偏振分光镜组作为补偿机构，通过共光路补偿提高了角度...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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