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本发明公开了一种12管高产能PECVD设备，包括气源柜、主机和工作台框架，气源柜的右侧与主机的左侧固定连接，主机的右侧与工作台框架表面的一侧固定连接，工作台框架的顶部固定连接有加热炉体，加热炉体的表面活动连接有真空炉门机构，加热炉体的表面固...
该专利属于无锡华源晶电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡华源晶电科技有限公司授权不得商用。

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