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本发明提供一种防止前驱体液滴进入管线或腔体的源瓶，在源瓶中用增加隔板形成隔离区，隔离区成为一个过渡缓冲空间，收集前一步骤产生的液体并可释放前驱体蒸汽到反应腔体中，从而有效避免或减少前驱体液体被带入气体管路或反应腔体。...
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