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本发明公开了一种可提高硅棒生长质量的硅烷热分解炉，包括底盘、钟罩、反应尾气出口管和底盘，底盘上方设有一套或数套硅烷分布器，硅烷分布器由一进气环管和多对分布环管组成，硅烷分布器的上方设有对应的一个或多个硅棒水冷夹套；本发明采用整体的硅棒水冷夹...
该专利属于河南硅烷科技发展股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南硅烷科技发展股份有限公司授权不得商用。

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