下载一种加载高温环境的超声波激励装置及其工作方法的技术资料

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一种加载高温环境的超声波激励装置及其工作方法,其属于微型机械电子系统技术领域。该装置包括筒体、安装在筒体底部的底板、微结构激励单元和光加热单元。微结构激励单元包括第一手动三轴位移台和第二手动三轴位移台,在第二手动三轴位移台的垂直溜板上安装有...
该专利属于大连理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过大连理工大学授权不得商用。

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