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本发明实施例提供一种掩膜版制程槽清洗方法，包括以下步骤：采用硝酸溶液清洗制程槽内壁，使附着于内壁上的沉淀物与硝酸溶液充分反应，清洗完成后清除制程槽内形成的第一清洗废液；采用洗洁精溶液清洗制程槽内壁，充分溶解内壁上的反应残留物，并在清洗完成后...
该专利属于深圳市路维光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市路维光电股份有限公司授权不得商用。

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