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本实用新型涉及半导体设备制造技术领域，公开了一种密封式透镜组件，设置在光刻机内，包括：会聚透镜、投影透镜以及设置在两者之间的掩膜版载台，此外，密封式透镜组件还包括：密封腔,设置在会聚透镜和投影透镜之间；密封门,设置在密封腔上；风管，进风端和...
该专利属于德淮半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过德淮半导体有限公司授权不得商用。

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