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本实用新型涉及一种基板处理装置，用于进行基板的研磨工序，包括：研磨垫，其研磨基板上表面；研磨头，其具备接触研磨垫的上表面的隔膜，相对于基板进行移动，借助于此，可以获得提高研磨稳定性及研磨准确度的有利效果。...
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