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文档序号:20519104

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一种半导体结构包括一基板、一叠层、一孔洞、和一有源结构。叠层设置在基板上。叠层由彼此交替的多个导电层和多个绝缘层构成。所述导电层包括一第i层导电层和设置在第i层导电层上方的一第j层导电层,第i层导电层具有厚度ti,第j层导电层具有厚度tj,...
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