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本发明公开了一种半导体元件的精细岛状图案形成方法，其包含：在基板上的硬遮罩层上形成第一遮罩柱；形成上缓冲遮罩层至硬遮罩层上以覆盖第一遮罩柱；对上缓冲遮罩层图案化岛状物；分离每个岛状物为次岛状物；蚀刻上缓冲遮罩层以在硬遮罩层上形成第二遮罩柱；...
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