下载晶体、结晶膜、包括结晶膜的半导体装置和用于制造结晶膜的方法的技术资料

文档序号:20512173

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根据本发明主题的方面,晶体包括:刚玉结构的氧化物半导体作为主要组分,该刚玉结构的氧化物半导体包括镓和/或铟并掺杂有含锗的掺杂剂;主平面;1×10...
该专利属于流慧株式会社;国立研究开发法人物质·材料研究机构;国立大学法人京都大学;国立大学法人佐贺大学所有,仅供学习研究参考,未经过流慧株式会社;国立研究开发法人物质·材料研究机构;国立大学法人京都大学;国立大学法人佐贺大学授权不得商用。

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