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根据本发明主题的方面，用于制造结晶膜的方法包括：气化含金属的金属源以将金属源转化为含金属的原料气体；将含金属的原料气体和含氧的原料气体供应到反应室中到包括缓冲层的基板上；以及将反应气体供应到反应室中到基板上，以在反应气体的气流下在基板上形成...该专利属于流慧株式会社;国立研究开发法人物质·材料研究机构;国立大学法人京都大学;国立大学法人佐贺大学所有，仅供学习研究参考，未经过流慧株式会社;国立研究开发法人物质·材料研究机构;国立大学法人京都大学;国立大学法人佐贺大学授权不得商用。