下载热屏蔽部件、单晶提拉装置、单晶提拉方法的技术资料

文档序号:20512169

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的问题在于减少产生位错化并防止产生裂纹缺损。一种单晶提拉装置(1)的热屏蔽部件(20),其通过CZ法从储存在坩埚(10)内的熔液(15)提拉单晶(16),其具备:圆筒状主体部(21),以围绕单晶的方式配置且下端部到达远离熔液表面的位置...
该专利属于胜高股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过胜高股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。