下载靶材组件制造方法的技术资料

文档序号:20512019

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一种靶材组件制造方法,包括:提供靶材,所述靶材具有靶材焊接面;提供背板,所述背板具有背板焊接面;将所述靶材焊接面镀铜,形成铜镀层;在所述铜镀层与所述背板焊接面之间放置钎料,对所述靶材以及所述背板进行焊接,形成靶材组件。由于所述钎料能够在所述...
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