温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种能够更加有效地抑制容器开口部的蒸镀材料的冷凝的蒸发源容器以及蒸发源装置。收容蒸镀材料的蒸发源容器(301)，其特征在于，所述蒸发源容器具有：具有供升华或者气化的蒸镀材料通过的开口(304)的第一部分(331)；以及与所述第一部...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。