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本申请描述了具有一个膜和一个膜电极的MEMS换能器。该膜和膜电极形成两层结构。该膜电极是导电材料的晶格的形式。该晶格的节距和/或开口的尺寸从该膜电极的中心区域到该中心区域侧向外部的区域变化。...
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