下载用于调节气态介质的调节设备和方法以及用于处理工件的设施和方法的技术资料

文档序号:20499302

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本发明涉及一种用于将气态介质(12)调节成经调节的气态工艺介质(14)的调节设备,具有入口连接单元(36)和出口连接单元(38),在入口连接单元和出口连接单元之间形成具有一个或多个调节级(40)的用于气态介质(12)的流动路径,这些调节级中...
该专利属于艾森曼欧洲公司所有,仅供学习研究参考,未经过艾森曼欧洲公司授权不得商用。

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