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本发明提供一种送液装置，其能够提高作业性，并且能够提高以一个粒子为单位回收微粒的效率。送液装置(1)包括：配置于该送液装置的一个端部(1a)、将液体导入封闭空间(S)的导入部(2)；配置于送液装置(1)的另一个端部(1b)、将供给至封闭空间...
该专利属于古河电气工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过古河电气工业株式会社授权不得商用。

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