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本公开提供了一种射频电源的功率传输方法，利用功率传输网络将所述射频电源的功率传输至反应腔室，以激励所述反应腔室内的工艺气体，其包括以下步骤：对所述功率传输网络进行第一调节；判断所述工艺气体是否点火成功；如果未点火成功，则继续进行所述第一调节...
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